Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式“Block”气体棒和面板设计,能够满足如今300 mm 工具的要求。该型号占用空间仅11/8″,能节省宝贵的空间;结构坚固,是要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测量的理想选择。与其他采用大体积封头腔室的产品不同,Setra 227 型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不锈钢制造,且表面钝化抛光至5 Ra(最大7 Ra),确保表面平整且耐化学腐蚀,实现无污染气体输送。
■ 泄露率低
■ VCR 接头
■ 易于吹扫的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度7 Ra
·VCR 接头
·1×10-9 ATM.CC/sec 级别的氨渗漏实验
·抗电磁干扰/ 射频干扰,可防止误停机
·4-20mA 输出型获得不易燃认证,适用于潜在危险区域
·符合CE 标准要求
·符合RoHS 标准要求
应用
·11/8″“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
性能参数
物理参数
精度RSS1(恒温下)
±0.25%FS或±1.0%读数
壳体
不锈钢
非线性(最佳拟合直线)
±0.15%FS
电气连接
6英尺多芯电缆、卡口或9针/15针D-SUB接头
迟滞
0.20%FS
非重复性
0.02%FS
压力接口
朝下安装的C型或W型密封
温度影响2
通气
零点/量程调整装置的检修孔
温度补偿范围
-9~65℃
重量
约184g
零点/满程漂移
1.8%(%FS/100℃)
电气参数(电流)
电气参数(电压型)
电路
2线
电压
3线(COM,OUT,EXC)
输出6
4~20mA7
输出4
0~5VDC或0.2~5.2VDC5
0~10VDC或0.2~10.2VDC5
外部负载
0-800Ω
最小供电电压(VDC)
10+0.02x(接收器附加导线电阻)
激励
5V FSO(满量程输出)时为10~30VDC
10V FSO(满量程输出)时为13~30VDC
最大供电电压(VDC)
30+0.004x(接收器附加掉线电阻)
环境参数
电流消耗
﹤8mA
工作温度3
-40℃~+85℃
压力介质
存放温度
-40℃~+85℃
与316不锈钢兼容的气体或液体
电流输出型(订购N1选项时)工作/储存温度
-30℃~+80℃
1.非线性、迟滞、非重复性的方和根
2.产品在21℃进行标定,最大温度影响误差由此数据得来
3.仅限电子元件的工作温度限制,压力介质的温度可能明显较高或较低
4.采用50KΩ负载进行标定,可在负载≥5KΩ时工作
5.零点(满量程)输出;对于5VDC输出,出厂设置在±25mV以内对于10VDC输出,出厂设置在±50mV以内
6.出厂标定时采用250Ω负载,24VDC电源
7.零点(满量程)输出:出厂设置在±0.8BmA以内
认证
不易燃认证;适用于潜在危险区域的认证;
北美;可选ETL认证,适用于ANSI/SA-12.2.01-2011标准中列出的1类2区A、B、C、D组危险区域
欧洲:可选用于标准EN60079-0;2012的ATEX94/9/EC2区认证或
WN60079-15:20 10 11 3G Ex nA llC T4 Gc-30℃﹤Ta﹤+80℃认证