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IR-400用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪
LU 系列自动供液系统
LE 系列大流量液体源汽化控制系统
VC 系列直接液体注入系统
LSC 系列紧凑型加热汽化
VG-200S电容式压力计
MI-1000/MV-1000混合注入系统液体汽化器
SEC-Z500X多量程/多气体数字质量流量控制器
SEC-N100 系列数字式质量流量控制器
FS-3000热式气体分流器
排气压力控制器EC-5000 系列
D700MG高响应压力非敏感质量流量器
压差式质量流量控制器 D500
HORIBA压力控制器 R600-RS485
MT-52显示仪
MT-51显示仪
日本HORIBA S48-300气体质量流量控制器
日本HORIBA S600-EtherCAT 气体质量流量控制器
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