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Setra 的730 型是一款高精度的电容式压力计（亦称电容式膜片真空计 (CDG)），适合在光伏、半导体和工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产品读数精度达±0.5%，分辨率高，优于同类产品。730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介质。由于采用直接测量设计，它能精确测量介质，不受应用中气体混合物成分的影响。
适合苛刻应用的高性能产品
采用单膜片可变电容感应元件，适用于苛刻的半导体和工业真空应用。它具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的特点，使之成为关键制造过程中的理想选择。
Inconel® 设计保证通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料， 因此对半导体和工业真空过程中的腐蚀性介质具有极高的耐受性。
Inconel®材料结合全焊接结构， 确保730型在这类应用中的长使用寿命。
直接压力测量
内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业电容式压力计不同，730型测量直接压力， 不受被测混合气的影响，这使其精度优于间接测量型压力计。
应用
·半导体处理室
·石化
·等离子体灭菌器
·真空包装
规格
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性能参数 |
物理参数 |
电气参数(电压) |
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精度1 |
±0.5%读数 ±0.25%读数(可选) |
压力接口 |
参见订购信息 |
激励输出4 |
12-30VDC/0-10VDC 9-30VDC/0-5VDC |
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响应时间 |
﹤20MS |
接液材料 |
Lnconel@ |
电流消耗 |
﹤10mA(最大值) |
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分辨率 |
无限，仅受输出噪声的 限制(≤0.005%FS) |
电气连接 |
5针螺钉端子、9针D-Sub或15 针D-Sub接头(位于6*尾纤上) |
输出负载 |
﹥10KΩ |
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温度影响2 |
壳体 |
不锈钢 |
输出阻抗 |
﹤1Ω |
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补偿范围 |
0～+50℃ |
腔室体积 |
﹤6.0cc |
电路 |
3线制 |
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零点漂移 |
0.25%FS/50℃ |
重量(近似值) |
﹤250g |
压力介质 |
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量程漂移 |
1.35%读数/50℃ |
环境参数 |
与lnoonel@兼容的气体或液体。lnoonel@接液材料仅适用于0.5*管道选项。其他接头选项会添加不锈钢。 |
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长期温度性3 |
0.5%FS/1年,不受环境条件影响 |
温度 |
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工作温度 |
0至+80℃ |
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认证 |
1.包括非线性、非重复性盒迟滞 3.在80℃下运行时,满量程范围小于100Torr 2.产品在66℉进行标定,最大温 时为±1.0%FS/年 度影响误差由此数据得来 4.采用50KΩ负载进行标定。可在负载≥5KΩ时工作 |
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CE.RoHS |
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班奈自动化仪表（上海）有限公司
沪公网安备 31011702004837号
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