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Setra GCT-225 系列超高纯压力变送器专门设计用于半导体工艺过程中的超高纯气体输送系统以及要求超洁净工作、高吞吐量和超高长期稳定性的控制应用。
GCT-225 系列采用可旋转的外罩结构，用户可方便地调节用于零点和量程微调的12 圈电位计。标准的旋转外螺纹/ 内螺纹端面密封压力接口可满足半导体行业的要求。此外，该系列产品还选用多种其他接口类型。GCT-225
系列产品提供5 VDC、10 VDC 或4-20 mA 三种输出类型，可使用六英尺多芯电缆及卡口、D-Sub 或M12x1 接头进行电气连接。
GCT-225 系列压力变送器采用Setra 可变电容技术，配有VIM/ VAR 316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时，隔膜会变得略圆，使电容减小。传感器将检测到电容变化，并将其转换为高精度的线性直流电信号。Setra 独特的定制集成电路采用专利的电荷平衡原理制成，几乎不受EMI/RFI 干扰。
在制造和装配完成后，Setra 超高纯压力变送器还要接受去离子水冲洗、高纯热氮气吹扫、烘干、双层包装、氮气充注和密封等处理，最后才发货。
注：Setra 的质量标准是根据ANSI-Z540 制定的。该产品的标定具有NIST 可追踪性，美国专利号。
■ 泄露率低
■ VCR 接头
■ 易于吹扫的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度7 Ra
·VCR 接头
·1×10-9 ATM.CC/sec 级别的氨渗漏实验
·坚固耐用，无故障安装
·4-20mA 输出型获得不易燃认证，适用于潜在危险区域
·符合CE 和RoHS 标准要求
规格
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性能参数 |
物理参数 |
电气参数(电压) |
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精度RSS1(恒温下) |
±0.25%FS |
壳体 |
不锈钢 |
电路 |
3线(COM,OUT,EXC) |
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非线性(最佳拟合直线) |
±0.15%FS |
电气连接 |
6英尺/1.8米多芯电缆,4 针头卡口接头 |
输出4 |
0～5VDC或0.2～5.2VDC5 0～10VDC或0.2～10.2VDC5 |
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迟滞 |
0.20%FS |
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温度影响2 |
压力接口 |
#4外螺纹/内螺纹端面密封旋转接头,1/4NOT外螺 纹接头或管接头 |
激励 |
5VFSO(满量程输出)时为10～30VDC 10VFSO(满量程输出)时为13-30VDC |
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温度补偿范围 |
-9～65℃ |
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零点/满程漂移 |
1.8%(%FS/50℃) |
输出电阻 |
10Ω |
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暖机(预热)偏移 |
总计为0.1%FS |
通气 |
通过外壳 |
段及偏移 |
总误差±0.1%FS |
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泄漏试验;使用质谱仪进行1×10-9ATM .CC/sec级别的氨渗漏试验 |
内腔体积 |
0.11in3 |
功耗 |
0.03W |
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接液部件 |
VIM/VAR316L不锈钢,电解 抛光至7Ra(最大10Ra) |
电气参数(电流) |
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压力介质 |
电路 |
2线 |
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与316L不锈钢兼容的液体或气体 |
重量 |
约113g |
输出6 |
4～20mA7 |
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认证 |
环境参数 |
外部负载 |
0-800Ω |
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不易燃认证;适用于潜在危险区域的认证; |
工作温度3 |
-40℃+85℃ |
最小供电 电压(VDC) |
10+0.02x(接收器附加导线电阻) |
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存放温度 |
-40℃+85℃ |
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北美;可选ETL认证,适用于ANSI/ISA -12.2.01-2011标准中列出的1类2区 A.B.C.D组成危险区域(选择N1选项) |
电流输出型(订购N1选项时) |
-30℃+80℃ (工作/储存温度) |
最大供电电压(VDC) |
30+0.004x(接收器附加导线电阻) |
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功耗 |
﹤0.9W |
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欧洲;可选用于标准EN60079-0;2012的ATEX94/9/CE2区认证或EN60079-15;2010 11 3G EX nA llC T4 Gc-30℃﹤Ta﹤+80℃认证 (选择N1选项) |
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1. 非线性、迟滞、非重复性的RSS值(方和根)
2. 产品在21℃进行标定,最大温度影响误差由此书记计算.
3. 仅限电子元件的工作温度限制,压力介质的温度可能明显较高或较低。
4. 采用50KΩ负载进行标定,可在负数≥5KΩ时工作
5. 零点(满量程)输出：对于5VDC电源,出厂设置在±25mV以内;对于10VDC电源,出厂设置在±50mV以内
6. 出厂标定时采用250Ω负载,24VDC电源。
7. 零点输出的出厂设置在±0.08mA以内,满量程输出的出厂设置在±0.16mA以内。
班奈自动化仪表（上海）有限公司
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