美国ALICAT M系列气体质量流量计

Alicat 的M系列多种气体质量流量计采用专利的内部补偿型层流压差技术，使得大
流量范围下气体仍旧保持层流运动，充分补偿因压力和温度引起的体积流
量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流
量计均具有NIST可溯源校准证书。
M系列质量流量计内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装
方向不敏感。Alicat 提供全方位的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
Alicat的M系列质量流量计带有集成式多功能数字显示屏， 用户可通多显示屏按钮操作在内置98 种标准气
体中进行任意切换，同时开放模拟通讯和RS-232数字通讯模式。我们为用户提供广泛的定制化服务以满足各类特殊的项目需要，如：用于危险环境的ATEX(欧洲) 1类2区和CSA(美国)1类2区认证产品等。另有耐腐蚀系列(MS系列)、低压损系列(MW系列)和便携式系列(MB系列)质量流量计可选。
产品应用
Alicat的M系列数字式质量流量计广泛应用于各行业领域，如：科学研究、泄漏测试、环境监测、真空
镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量等。多变量测量、
多种气体标定以及200:1量程可调比使得仅用一台Alicat质量流量计便可取代多台设备发挥的功效。最高可达0.4%的精度、0.2%重复性及不到10毫秒的测量响应速度最大程度优化了气体测量过程。
M系列质量流量计可测量从0-0.5 SCCM到0-4000SLPM的满量程的任何流量。