alicat MC气体质量流量控制器
控制响应最快、最稳定的质量流量控制器,可测量并控制低至2.5微升的流量,依照用户应用需求量身定制阀门孔径以确保达到最佳工作效果。
MC & MCR系列质量流量控制器参数 0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 3000 slpm 满量程
1. 数字信号输出质量流量、体积流量、压力和温度。 2. 模拟信号&第二道模拟信号(选配)输出质量流量、体积流量、压力或温度。 3. 若选择 PROFIBUS,则无模拟信号。关于 PROFIBUS 设备供电电压与电流 , PROFIBUS 和 Modbus 设备无屏幕显示。 气体选择(Gas Select™)5.0 版预置 98 种常用气体: 参见下页完整气体列表。 若您的气体不在标准列表中,请联系我们,艾里卡特®可订制多达八种气体成份的复杂混合气体。 若为腐蚀性气体或制冷剂,请参见 MCS 系列质量流量控制器。
精度(调零后标准条件下) :± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
典型响应时间 100 毫秒(可调整典型响应时间 100 毫秒(可调整)
如何订购:
请提供气体种类,流量范围,接液材质,接口尺寸,输出形式,压力范围?