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美国ALICAT PC/PCR压力控制器
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美国ALICAT PC/PCR压力控制器

所属分类:美国ALICAT
浏览次数:
时间:2018-4-5 17:17:07
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  • 50-100毫秒控制响应(消除上游压力波动造成的影响)
  • 允许用户自行调节PID以获得最完美的速度和稳定性
  • 定制化阀门孔径以保证满量程流量的稳定性
  • PC3系列设有远程压力传感端口,从而允许压力控制器灵活安置
  • 可设置成控制背压
    • 标准精度 (NIST可溯源): +/- 0.25% F.S
    • 高精度 (选配): +/-  0.125% F.S
    • 线性范围: 0.5-100% F.S, 量程可调比 200:1
      • 标准压力控制器响应时间常数: 50 毫秒
      • 大流量压力控制器响应时间常数: 100 毫秒 (PCR/PCR3/PCRS系列)
      • *压力稳定时间也取决于实际应用中的设置
        • 表压 (相对于大气压): 0-2 inH2O(G) 至 0-500 psig (PC)或0-300 psig (PCR), 负压: -15 – 0 psig。*PCS/PCRS最小满量程: 0-1 psig
        • 绝压 (相对于真空): 0-15 psia 至 0-500 psia (PC)或0-300 psia (PCR)。*PCS/PCRS最小满量程: 0-30 psia.
        • 差压 (相对压力): 0-2 inH2O(D) 至 0-150 psid (PC/PCR)。*PCS/PCRS满量程范围: 0-1 psid 至 0-100 psid, 负压代表反向压差
        • 标准通讯方式: RS-232数字通讯和0-5v模拟通讯
        • 选配模拟通讯: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模拟输出信号可选
        • 配通讯协议: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
        • 通讯接口: 8针mini-DIN
        • 选配通讯接口: 9针或15针D-sub接口, 可定制引脚分配
        • 动态显示设定值、表压、绝压或差压
        • 标准显示屏: 2.1″ 单色LCD数字式触摸显示屏
        • 选配显示屏: 2.1″ 背光彩色TFT数字式触摸显示屏
        • 有条件的终身质保
        • 对撞击、潮湿环境、安装方向等不敏感
        • 压力控制器 (电源需另行订购)
        • NIST可溯源校准证书
        • 艾里卡特操作手册
        • 压力控制器用于真空镀膜

          结合您用得最顺手的真空计与艾里卡特PC-EXTSEN压力控制器,可打造最完美的绝压控制方案用于真空沉积。质量流量控制器控制进入腔体的反应气体流量、PC-EXTSEN压力控制器稳定整个腔体压力。