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压差式质量流量控制器 D500

压差式质量流量控制器 D500

所属分类:HORIBA堀场流量计
浏览次数:
时间:2023-10-20 14:55:21
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  • 压力不敏感性能
    高性能压力补偿新功能简化了供气系统
  • 多量程、多气体、多压力解决方案
    新功能允许用户改变气体类型、满量程流量和供压范围
  • G-LIFE(集成限流器方程的气体定律校验)自诊断功能
    先进的工艺健康监控功能允许操作人员自行进行测试,即使提高通过量,通常也能在三秒或更短的时间内完成测试。
  • 高精度
    先进的三维调整功能提高了工艺气的流量精度
  • 快速响应
    响应时间:< 0.8 秒
    可实现精确、稳定的流量控制
  • 动态范围
    控制范围广:0.2% 满量程 至 100% 满量程