SEC-Z500X多量程/多气体数字质量流量控制器

• 高精度 ±1.0% 设定点
  该质量流量控制器的线性度由多项式近似曲线补偿，并实现在流量控制范围内的高精度。为提高实际气体精度，不同工艺气体的标定数据由 HORIBA STEC 公司的标准气体测量系统测量。
• 高速响应
  装配“可变 PID 系统”，可在任意两个设定点之间实现 1 秒响应。可变 PID 根据流量点设置不断变化。在满量程流量和气体发生变化时优化 PID 系数。
• 多气体/多量程解决方案
  配置软件可以快速方便地更改规格。一个重要特征是无需从气体控制面板或管道上拆除质量流量控制器，即可进行更改。减少了所需的备用质量流量控制器的数量，节省时间和成本。

SEC-Z500X 质量流量控制器适用于各种应用以及半导体制造。