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测量技术
注入方式
以下是汽化液体源并将其输送到处理室的主要步骤。
1. 测量液体源的流量，并通过阀门反馈和控制液体量。
2. 液体瞬间汽化。
3. 气体被释放，防止凝结成液态。
由于载气在注入器内部喷嘴前的压力较高，因此可以获得有效加热。液体源和加热的载气在喷嘴前的气液混合区混合在一起，当混合物通过喷嘴时，压力降低，混合物进而汽化。
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