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LSC 系列紧凑型加热汽化

LSC 系列紧凑型加热汽化

所属分类：日本HORIBA堀场
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时间：2023-11-28 9:29:20
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  • 大流量气化
  • LSC-A100 提供 TEOS 600SCCM 和 H2O 2SLM 等材料的稳定气化
  • 所有设备维护都可以在设备前端进行
  • 可选掌上型 PDA 用于监控 LSC 的运行状态，并记录和分析运行日志

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