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IR-400用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪

IR-400用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪

所属分类：日本HORIBA堀场
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时间：2024-2-28 13:37:57
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IR-400 可在沉积过程中实时监测腔室清洗终点。通过优化清洗过程，IR-400 减少了清洗时间和气体用量。清洗气体用量减少会降低对腔室的损害，并增加所有系统部件的寿命

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