费尔顿(FELTON)TCP系列流量计是一种用于半导体行业的气体质量流量控制器,具有高精度和高可靠性,能够满足半导体制造过程中对气体流量的严格控制要求。
产品特点
-
高精度控制:TCP系列流量计的控制精度为±0.2%设定值(Q≤20%满量程);±1%满量程(Q>20%满量程),能够实现高精度的流量测量和控制。
-
多种通讯方式:支持RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT等多种数字通讯方式,同时兼容0-5V DC或4-20mA的模拟信号。
-
快速响应:响应时间小于1秒,适合对实时性要求较高的应用场景。
-
工作压力范围:工作压差范围为0.05-0.5MPa,最大工作压力可达0.6MPa
-
