GT-1000 热式质量流量控制器MFC

产品特点：

1、快速响应控制系统

    高稳定性快速响应控制算法，具备抗过冲、升降响应快等优势，流量设定响应时间～700ms以内；全系列采用多层压电陶瓷促动器驱动阀门控制，具备高精度位移控制、快速响应、低发热等多种优势。

2、精确稳定的流量测量单元

    超精密热式流量传感器拥有独立控制响应控制回路，在全量程、多种气体范围可实现流量精确校准及测量，为高精度流量控制提供保障；高可靠的流量传感器制造工艺可有效降低传感器漂移。

3、洁净精密的机械系统

    全系列采用符合SEMI UHP等级的不锈钢316L等材料作为接触气体材料，具备满足SEMI要求的表面处理工艺；采用全金属密封流路，稳定、可靠。