GT-2000热式质量流量控制器MFC

产品特点：

1、快速响应控制系统

高稳定性快速响应控制算法，具备抗过冲、升降响应快等优势，流量设定响应时间～700ms以内；全系列采用多层压电陶瓷促动器驱动阀门控制，具备高精度位移控制、快速响应、低发热等多种优势。

2、精确稳定的流量测量单元

超精密热式流量传感器拥有独立控制响应控制回路，在全量程、多种气体范围可实现流量精确校准及测量，为高精度流量控制提供保障；高可靠的流量传感器制造工艺可有效降低传感器漂移。

全系列采用符合SEMI UHP等级的不锈钢316L等材料作为接触气体材料，具备满足SEMI要求的表面处理工艺；采用全金属密封流路，稳定、可靠。

4、动态抗压力扰动

GT-2000系列内置气体压力传感器，集成抗压力扰动流量控制算法，可有效减弱气路压力波动及串扰对流量控制的影响，为工艺稳定性提供保障。