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HORIBA STEC质量流量控制器基于多年来引领尖端技术产品的市场发展经验，提供的一系列满足客户需求的质量流量计产品。
HORIBA STEC质量流量控制器被广泛地运用于各种工业领域，从太阳能电池、燃料电池的研究和制造，到半导体、液晶面板和电子行业中使用的发光二极管（LED）的研究和制造。在这些制造工艺中，对各种气体的流量进行准确的测量和控制，显著地提高了工作效率，进而节约了能源和提高了生产力。HORIBA STEC致力于质量流量计的发展，为制造工艺，包括半导体、光电和LED的制造提供服务，并将继续开发新的产品来满足客户的需求。
HORIBA STEC质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，必须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在必须对流量进行精确计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。
工业炉、热处理炉用可燃烧气体控制
针焊用可燃烧气体控制
氢气 、氧气、丙烷、氩气等为首的各种可燃烧气体的流量控制
清洗气体的流量控制
实验装置上的气体流量控制
要求需要自动化的流量控制设备
希望把握所消耗流量总量的设备等
| 适用气体种类*1 | N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 | N2、O2、Air、H2 | ||
| 气体接触部材质 | SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢 | |||
| 阀门型号 | 非通电时 关闭 | |||
| 标准流量量程 (N2相应F.S.) | 50/100 SLM | 200 SLM | 300/500 SLM | |
| 流量控制范围 (适于SEC系列) | 5?100% F.S. | |||
| 流量测量范围 (适于SEF系列) | 0?100% F.S. | |||
| 响应速度 | 1秒以内(T98) | 2秒以内(T98) | ||
| 流量精度 | ±1% F.S. | ±2% F.S. | ||
| 直线性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
| 反复性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
| 工作差压值值(适于SEC系列) | 100?300kPa(d) | 200?350kPa(d) | ||
| 使用压力 (适于SEF系列) | 350kPa(G)以下 | |||
| 耐 压 | 1MPa(G)以下 | |||
| 外部泄漏率 | 1×10-7Pa?m3/s(He)以下 | 450kPa(G)加压10分钟减压1%以内 | ||
| 使用环境温度 | 5?45℃(精度的确保：15?35℃) | |||
| 流量设定信号 | 0.25?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S. | |||
| 流量输出信号 | 0?5VDC(最小负荷电阻2kΩ) | |||
| 驱动电源 | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |||
| 标准接头*2 | 3/8SWL 类型 | 1/2SWL 类型 | ||
*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：最大值300kPa(G)；SEC-70/80：最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。
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HORIBA 公司成立于1945年，总部设于日本京都，最初产品为pH计。HORIBA于1950年开发成功了日本第一台玻璃电极pH计， 1971年3月公司成为上市公司，1982年进入东京和大阪股票交易所一版，至2000年底，公司资产总值已达910亿日圆，年销售额710亿日圆，员工总数达3000多人。现已与全国多家企业及科研机构建立了良好的合作关系。HORIBA的年对华贸易额已达4亿5千万日圆。
现在HORIBA已经发展成为拥有37个成员公司的企业集团-HORIBA GROUP，并在工业化国家均设有常驻机构。作为世界上分析与检测设备制造商，HORIBA在半导体、医疗、汽车行业、自然科学及环境保护等领域为世界各地的客户提供高品质的产品。 HORIBA公司分别于1993年和1996年获得了ISO9001和ISO14001的认证。
HORIBA STEC SEC-Z500X质量流量控制器
HORIBA SEC-N100气体流量控制器：http://www.benner-auto.com/news/show-279.html 型号SEC- (质量流量控制器)E60E70E80SEF- (质量流量计)E60E70E80
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